各國潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度級(jí)別表
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潔凈度級(jí)別
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塵粒最大允許數(shù)/立方米
≥0.5μm塵粒數(shù)
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≥5μm塵粒數(shù)
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微生物最大允許數(shù)
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
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100級(jí)
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
|
10,000級(jí)
|
350，000
|
2，000
|
100
|
3
|
|
100，000級(jí)
|
3，500，000
|
20，000
|
500
|
10
|
|
300，000級(jí)
|
10，500，000
|
60，000
|
1000
|
15
|
|
空氣潔凈
度等級(jí)(N)
|
大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值（空氣粒子數(shù)個(gè)/立方米）
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|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1.0um
|
5.0um
|
|
|
ISO Class1
|
10
|
2
|
||||
|
ISO Class2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
ISO Class3
|
1,000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
ISO Class4
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
352
|
83
|
|
|
ISO Class5
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
832
|
29
|
|
ISO Class6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320
|
293
|
|
ISO Class7
|
352,000
|
83,200
|
2,930
|
|||
|
ISO Class8
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
|
|||
|
ISO Class9
|
35,200,000
|
8,320,000
|
293,000
|
|||
|
注：由于涉及測(cè)量過程的不確定性，故要求用不超過三個(gè)有效的濃度數(shù)字來確定等級(jí)水平
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||||||
各國潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表
|
個(gè)/M≥0.5um
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ISO
14644-1(1999)
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US
209E(1992)
|
US
209D(1988)
|
EEC
cGMP(1989)
|
FRANCE
AFNOR(1981)
|
GERMANY
VDI 2083(1990)
|
JAPAN
JAOA(1989)
|
|
1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3.5
|
2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
0
|
2
|
|
10.0
|
–
|
M1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
35.3
|
3
|
M1.5
|
1
|
–
|
–
|
1
|
3
|
|
100
|
–
|
M2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
353
|
4
|
M2.5
|
10
|
–
|
–
|
2
|
4
|
|
1,000
|
–
|
M3
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3,530
|
5
|
M3.5
|
100
|
A+B
|
4,000
|
3
|
5
|
|
10,000
|
–
|
M4
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
35,300
|
6
|
M4.5
|
1,000
|
1,000
|
–
|
4
|
6
|
|
100,000
|
–
|
M5
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
353,000
|
7
|
M5.5
|
10,000
|
C
|
400,000
|
5
|
7
|
|
1,000,000
|
–
|
M6
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3,530,000
|
8
|
M6.5
|
100,000
|
D
|
4,000,000
|
6
|
8
|
|
10,000,000
|
–
|
M7
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)
|
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)
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||||||
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
|
|
1
|
10
|
2
|
||||
|
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
4（十級(jí)）
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
|
5（百級(jí)）
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
|
6（千級(jí)）
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
|
7（萬級(jí)）
|
352000
|
83200
|
2930
|
|||
|
8（十萬級(jí)）
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|||
|
9（一百萬級(jí)）
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
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概述
空氣潔凈度等級(jí)（air cleanliness class）：潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
測(cè)試
一、潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試
（一）空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試
空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
靜態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
（二）動(dòng)態(tài)測(cè)試
潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。
潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
二、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試
（一）測(cè)試前的準(zhǔn)備
1. 應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。
2. 采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)（或風(fēng)管內(nèi)）粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30,000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器2-3厘米處，可以2-4厘米/秒的速度移動(dòng)，對(duì)高效空氣過濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。
當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5μm的塵粒超過3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏。
（二）測(cè)試內(nèi)容
1. 總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等；
2. 潔凈室壓力值；
3. 層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向；
4. 潔凈工作區(qū)的潔凈度；
5. 室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試；
6. 潔凈室內(nèi)噪聲。
（三）潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法
對(duì)于粒徑大于或等于0.5μm的塵粒計(jì)數(shù)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法，也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。
光散射粒子計(jì)數(shù)法：
1. 光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量100級(jí)：每次采樣量大于或等于1升。1,000級(jí)-10,000級(jí)：每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級(jí)：每次采樣量大于或等于0.1升。對(duì)于100級(jí)潔凈室，宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試；如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。
2. 采樣注意事項(xiàng)：
①采樣管必須干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。
②采樣管的長(zhǎng)度，應(yīng)根據(jù)儀器的允許長(zhǎng)度。當(dāng)無規(guī)定時(shí)，不宜大于1.5米。
③采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。
④采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。
3. 測(cè)點(diǎn)布置：
①檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米。
②層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)間距為0.5-2.0米，粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。
③亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)（附圖2）。每增加20-50平方米，增加3-5個(gè)測(cè)點(diǎn)。
4. 數(shù)據(jù)整理：
①每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。
②對(duì)于大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。
（四）正壓值測(cè)定應(yīng)采用精度可達(dá)0.01毫米水柱的微壓計(jì)。
三、動(dòng)態(tài)測(cè)試
在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試。
