潔凈工程也叫潔凈凈化工程，潔凈室裝修改造，潔凈廠房，OLED潔凈工程管理要點(diǎn), OLED器件是在潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)的，潔凈室工程質(zhì)量好壞，決定著生產(chǎn)線產(chǎn)品合格率的高低，進(jìn)而影響產(chǎn)品成本。

潔凈室凈化工程主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

我公司承建了一個(gè)OLED實(shí)驗(yàn)線潔凈室工程，本文將系統(tǒng)介紹該潔凈室工程管理的要點(diǎn)。
1、工程概況
該項(xiàng)目主廠房生產(chǎn)區(qū)域?yàn)閮蓪愉摻罨炷量蚣芙Y(jié)構(gòu)及鋼屋架結(jié)構(gòu)，混凝土屋面采用柔性高分子卷材屋面, 鋼結(jié)構(gòu)屋面采用機(jī)械固定的卷材屋面方式，一層層高4.8m，二層層高6.4m，一層技術(shù)下夾層與二層生產(chǎn)區(qū)之間的樓板采用華夫板方式，利用華夫板上的開洞滿足兩層之間的回風(fēng)，華夫板上設(shè)置導(dǎo)電性架空地板，設(shè)備根據(jù)工藝要求布置在架空地板或華夫板上。

2、設(shè)施布局
一層主要包括的功能房間為技術(shù)下夾層，回風(fēng)夾道，送風(fēng)，高效送風(fēng)口，沿下夾層區(qū)域四周布置有門廳、換鞋區(qū)、一更、化學(xué)品供應(yīng)、特氣供應(yīng)、廢液收集、廢水提升站、冷卻循環(huán)水站、純水拋光間、真空間、變電站、物料暫存間、成品暫存間等。

二層是大開間的工藝生產(chǎn)區(qū)，布置生產(chǎn)設(shè)備。該層與技術(shù)下夾層之間的結(jié)構(gòu)樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上方安裝架空活動地板，以滿足回風(fēng)的要求；生產(chǎn)設(shè)備層的吊頂安裝風(fēng)機(jī)過慮器單元（FFU），以滿足生產(chǎn)層凈化要求。

二層核心凈化區(qū)包括的區(qū)域有PVD/CVD、光刻間、掩模清洗、注入間、RTA、ELA、CVD、基板清洗間、小片切割、蒸鍍、劃片、UV硬化、基板切割間、探針、陣列檢測間、緩沖間、有機(jī)庫、FMM庫、QA、回風(fēng)夾道等，核心凈化區(qū)周圍的其它功能房間包括有空調(diào)機(jī)房、電氣室、配電室、維修間、材料庫等。在核心凈化生產(chǎn)區(qū)的兩側(cè)設(shè)計(jì)回風(fēng)、管道豎井，形成凈化空氣的循環(huán)回路。并且在建筑的兩邊各設(shè)計(jì)多部樓梯，形成各層對室外的疏散通道為滿足凈化生產(chǎn)的微振要求，二層的樓板——華夫板擬采用較厚的穿孔樓板結(jié)構(gòu)，華夫板面刷環(huán)氧樹脂涂料，為滿足生產(chǎn)工藝的靈活布置并提高凈化面積的使用效率，生產(chǎn)人員經(jīng)主入口門廳進(jìn)入換鞋區(qū)，再進(jìn)入一次更衣，通過員工專用樓梯進(jìn)入二層二次更衣室，再通過風(fēng)淋室進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)。

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)由MAU（新風(fēng)處理系統(tǒng)）+FFU+干盤管共同構(gòu)成。生產(chǎn)區(qū)吊頂由風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）與金屬吊頂框架組成，F(xiàn)FU視各生產(chǎn)機(jī)臺需要之等級均布，覆蓋率隨生產(chǎn)工藝需求而定。新風(fēng)由MAU（新風(fēng)處理系統(tǒng)）集中處理后與室內(nèi)的循環(huán)風(fēng)混合，經(jīng)FFU加壓、過濾后送入生產(chǎn)區(qū)。生產(chǎn)區(qū)內(nèi)設(shè)備、人員、照明、圍護(hù)結(jié)構(gòu)等冷負(fù)荷均由干盤管承擔(dān)。潔凈室內(nèi)濕度及正壓控制由MAU負(fù)責(zé)。MAU供風(fēng)量需求約50000CMH×2+1臺，潔凈室循環(huán)風(fēng)量約773000CMH。新風(fēng)入口附設(shè)不織布濾網(wǎng)及庫板隔間氣室于新風(fēng)空調(diào)機(jī)組入口前，延長主要濾網(wǎng)壽命。

在化學(xué)品庫、氣體間設(shè)置獨(dú)立的空調(diào)系統(tǒng),新風(fēng)經(jīng)處理后送入室內(nèi)，然后通過排風(fēng)系統(tǒng)全部排至室外，空氣不循環(huán)使用。

工藝排風(fēng)系統(tǒng)：在工藝生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生含酸、堿、有機(jī)溶劑、高沸點(diǎn)有機(jī)、有害等廢氣。為保護(hù)生產(chǎn)人員的健康，減少對工作環(huán)境及廠區(qū)周圍空氣的污染，分別設(shè)計(jì)了相應(yīng)的局部排風(fēng)系統(tǒng)、全室排風(fēng)系統(tǒng)及廢氣處理系統(tǒng)。為消除工藝生產(chǎn)區(qū)工藝設(shè)備等散發(fā)的熱量所設(shè)計(jì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)、全室排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)不需處理可直接排入大氣。為消除工藝生產(chǎn)區(qū)工藝設(shè)備散發(fā)的含酸、堿、有機(jī)溶劑、高沸點(diǎn)有機(jī)、有害等廢氣的局部排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)須先經(jīng)廢氣洗滌塔等廢氣處理裝置處理，達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排入大氣。工藝排風(fēng)系統(tǒng)排風(fēng)機(jī)風(fēng)量設(shè)定約STR400CMH×1+1臺;GEX-D18000CMH×1+1臺；EX-W&GEX-H12300CMH×1臺，備用機(jī)與GEX-D共用；SEX 16 000CMH×1+1臺；ORG 4 000 CMH×1+1臺，所有工藝排風(fēng)機(jī)均帶變頻器。
防、排煙系統(tǒng)：對于大于300m2的地上房間、長度大于40m的疏散走道、長度大于20m的內(nèi)走道設(shè)置消防排煙系統(tǒng)。以高度為50cm的擋煙垂壁劃分防煙分區(qū)，最大防煙分區(qū)的面積為500m2。排煙風(fēng)機(jī)的風(fēng)量為72000m3/h（60000×1.2倍）。密閉房間設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)時(shí)，同時(shí)設(shè)置機(jī)械補(bǔ)風(fēng)系統(tǒng)，補(bǔ)風(fēng)量為排煙量的50%。防煙樓梯間及其前室、消防電梯前室或合用前室設(shè)置防煙設(shè)施。

3、潔凈等級要求
核心凈化區(qū)0.3ìm、ISO5.5，輔助區(qū)域0.3ìm、ISO6.5。其工序環(huán)境參數(shù)見表1。
4、施工重點(diǎn)分析

4.1建設(shè)過程必須遵循潔凈室建設(shè)四項(xiàng)原則

（1）不帶入。

（2）不產(chǎn)生。

（3）不積累。

（4）快速去除。
不帶入，就是不向潔凈室?guī)巳魏位覊m，必須確保以下條件：
（1）高效過濾器與結(jié)構(gòu)不產(chǎn)生灰塵泄漏。

（2）保持潔凈室正壓。

（3）人員經(jīng)更衣?lián)Q鞋、風(fēng)淋后方可進(jìn)入潔凈室。

（4）材料與設(shè)備經(jīng)清洗后方可進(jìn)入潔凈室。

不產(chǎn)生，就是不在潔凈室產(chǎn)生任何灰塵，必須確保以下條件：
（1）人員應(yīng)穿潔凈服。

（2）不使用容易產(chǎn)生灰塵的材料與設(shè)備。

（3）不進(jìn)行不必要的移動。

（4）不帶入無用品。
不積累，就是不在潔凈室積累任何灰塵，必須確保以下條件：

（1）不使設(shè)備角和四周清潔困難。

（2）潔凈室盡量不暴露風(fēng)管和管道。

（3）遵守標(biāo)準(zhǔn)化凈化工作程序。

快速去除，就是快速去除潔凈室內(nèi)灰塵，必須做到以下幾點(diǎn)：
（1）增加換氣率。

（2）在靠近產(chǎn)生灰塵的地方設(shè)置排氣裝置。

（3）采用合適的氣流形式以避免灰塵粘在產(chǎn)品上。

4.2基于以上原則，潔凈室施工重點(diǎn)工作

做好潔凈室氣密隔絕，將潔凈室與外界完全隔離，確保外界污染物不能進(jìn)入潔凈室范圍，在正式內(nèi)裝圍護(hù)結(jié)構(gòu)未完成前，先做臨時(shí)隔離設(shè)施。

建立三級潔凈管制，確保施工各階段符合相應(yīng)凈化管制標(biāo)準(zhǔn)。

高架地板開孔率計(jì)算及孔板、盲板分布。為保證華夫板回風(fēng)均勻，從回風(fēng)夾道向另一側(cè)盲板的分布率遞減以平衡氣流，防止短路。

確保內(nèi)裝圍護(hù)結(jié)構(gòu)的嚴(yán)密性，潔凈區(qū)外圍墻體、頂板必須保持嚴(yán)密，嚴(yán)禁外氣泄漏進(jìn)入潔凈室。確保回風(fēng)夾道的密閉，包括干盤管墻的密閉及回風(fēng)夾道圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性，以保證干盤管的斷面風(fēng)速、風(fēng)量要求，同時(shí)防止氣流短路，未經(jīng)干盤管直接進(jìn)入靜壓箱。

進(jìn)入二級潔凈管制階段，盡快在潔凈室內(nèi)建立正壓，方法是利用新風(fēng)機(jī)組為室內(nèi)提供新風(fēng)，建立正壓，在新風(fēng)機(jī)外部的新風(fēng)吸入口加設(shè)無紡布過濾新風(fēng)，以延長新風(fēng)機(jī)內(nèi)初效過濾器、中效過濾器的使用壽命。

潔凈室施工完成后，經(jīng)過調(diào)試、檢測，潔凈室各項(xiàng)數(shù)據(jù)均符合設(shè)計(jì)指標(biāo)。

5、結(jié)語
通過對本項(xiàng)目施工實(shí)踐的總結(jié)，驗(yàn)證了項(xiàng)目潔凈管理重點(diǎn)的正確性，潔凈室施工管理，要嚴(yán)格遵循潔凈室建設(shè)四項(xiàng)原則，可確保潔凈室工程建設(shè)的成功。

潔凈工程狀態(tài)：
潔凈室狀態(tài)有以下三個(gè)：
空氣潔凈室：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài)潔凈室：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
動態(tài)潔凈室：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。

控管項(xiàng)目：
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3、溫度和濕度之控制。
4、壓力之調(diào)節(jié)。
5、 有害氣體之排除。
6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7、靜電之防制。
8、電磁干擾預(yù)防。
9、安全因素之考慮。
10、節(jié)能之考量。

潔凈凈化工程分類
亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

定義：氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。

原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級以上至30萬級凈化級別）。

特性：
亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）
（1）自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級別的時(shí)間。 1000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計(jì)算)
（2）換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級 23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。
層流式
(Laminar)
層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

復(fù)合式
(Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：
A.彈性擴(kuò)充容易；
B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈棚、裝配式潔凈室、潔凈衣柜即屬此類。
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

潔凈棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。

氣流的流動
氣流重要性
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
風(fēng)速的控制
潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響因素
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

潔凈室之構(gòu)成
潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：
(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。
(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具：LED凈化平面燈。
潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；

按用途分類
工業(yè)潔凈室
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
生物潔凈室
主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為；
A、 一般生物潔凈室：主要控制微生物（細(xì)菌）對象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
B、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）

污染源知識
發(fā)塵量
潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵絕對量也不斷減少。
A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少；
C、活動：動作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍；
D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。
發(fā)菌量
工作人員產(chǎn)生的污染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。
5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀干做動作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為：
（1） 潔凈室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時(shí)：
靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人
軀體一般活動時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000個(gè)/min.人
快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500個(gè)/min.人
（2） 咳嗽一次一般為 70~700個(gè)/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個(gè)/ min.人
（3） 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000個(gè)/ min.人
（4） 無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14
（5） 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：
（6） 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個(gè)/ min.人
所以，可知潔凈室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個(gè)/ min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個(gè)/ min/人，以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
（1）潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
（2）醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002
（3）醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50457-2008
（4）傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范
（5）醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
（6）QS認(rèn)證質(zhì)量手冊
（7）GMP藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范

潔凈工程行業(yè)
潔凈工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，（21世紀(jì)）在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級差別也較大。
級別最高的當(dāng)屬航天航空的航倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。
另外對級別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。